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壓力變送器產(chǎn)生誤差的原因介紹
時(shí)間: 2020-04-26 13:27:37 瀏覽次數(shù)：
壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。一般來(lái)說(shuō)，在選擇壓力傳感器時(shí)，應(yīng)考慮其綜合精度，而壓力傳感器的精度受什么影響？或者是什么導(dǎo)致傳感器錯(cuò)誤？實(shí)際上，造成傳感器誤差的因素很多。接下來(lái)，我們將注意到四個(gè)不可避免的錯(cuò)誤，它們是傳感器的初始錯(cuò)誤。
1.偏移誤差：由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)始終是垂直偏移的，所以轉(zhuǎn)換器擴(kuò)散和激光調(diào)整校正的變化會(huì)產(chǎn)生偏移誤差。
2.靈敏度誤差：產(chǎn)生的誤差與壓力成正比。如果裝置的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的增大函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。誤差產(chǎn)生的原因是擴(kuò)散過(guò)程的變化。
3.線性誤差：這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器的初始誤差影響不大的因素，它是由硅片的物理非線性引起的，但對(duì)于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹曲線，也可以是凸曲線。
4.遲滯誤差：在大多數(shù)情況下，由于硅片的高機(jī)械剛度，壓力傳感器的遲滯誤差可以忽略不計(jì)。一般來(lái)說(shuō)，我們只需要考慮在壓力變化較大的情況下的滯后誤差。
1.偏移誤差：由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)始終是垂直偏移的，所以轉(zhuǎn)換器擴(kuò)散和激光調(diào)整校正的變化會(huì)產(chǎn)生偏移誤差。
2.靈敏度誤差：產(chǎn)生的誤差與壓力成正比。如果裝置的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的增大函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。誤差產(chǎn)生的原因是擴(kuò)散過(guò)程的變化。
3.線性誤差：這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器的初始誤差影響不大的因素，它是由硅片的物理非線性引起的，但對(duì)于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹曲線，也可以是凸曲線。
4.遲滯誤差：在大多數(shù)情況下，由于硅片的高機(jī)械剛度，壓力傳感器的遲滯誤差可以忽略不計(jì)。一般來(lái)說(shuō)，我們只需要考慮在壓力變化較大的情況下的滯后誤差。
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