高頻壓力傳感器是一種薄膜元件，遭到壓力時變形。能夠應(yīng)用應(yīng)變儀(壓阻型感測)來丈量這種形變，也能夠經(jīng)過電容感測兩個面之間間隔的變化來加以丈量。這兩種辦法都很盛行。

汽車產(chǎn)業(yè)依然是高頻壓力傳感器的最大應(yīng)用范疇，占其銷售額的72%，其次是醫(yī)療電子占12%，工業(yè)范疇占10%，消費電子與軍用航空占領(lǐng)其他的6%市場。

在汽車范疇，引擎管理是其主要應(yīng)用，包括汽油發(fā)起機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器，特別是在歐洲。為了改善熄滅狀況，有些組織也在研討能夠在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器，以更好地丈量參與化學反響的各種物質(zhì)的精確比例，并把數(shù)據(jù)反應(yīng)給引擎管理系統(tǒng)。

由于工作環(huán)境惡劣，汽車傳感器的價錢比消費類傳感器高得多。另外，汽車傳感器需求較長的審定時間，而且這些傳感器必需能牢靠工作長達15年的時間。有些傳感器，比方剎車或輪胎壓力傳感器，關(guān)于汽車平安至關(guān)重要。

高頻壓力傳感器在汽車中的一個新應(yīng)用是傳動系統(tǒng)壓力感測，通常用于自動安裝之中，但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商博世最近進入該市場，推出了一款MEMS處理計劃，運用油來維護硅薄膜，使其能夠最高耐受70巴的壓力。多孔硅的MEMS器件，也已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。

在醫(yī)療市場，壓力傳感器主要充任外科手術(shù)運用的一次性低本錢導(dǎo)管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中，在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力宏大，可能在2015年以后成為可植入傳感器。可植入傳感器不需求電池就能工作，能夠用于心臟丈量和監(jiān)測青光眼。

在工業(yè)范疇，高頻壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風及空調(diào)(HVAC)、程度面丈量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。例如，除了準確的高度氣壓丈量，飛機運用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。