壓力傳感器有很多形式,每種結(jié)構(gòu)形式都有著不同的過(guò)載保護(hù)方法。
1.采用MEMS技術(shù)的小量程、高靈敏壓力傳感器通常有平膜、島膜、梁膜等結(jié)構(gòu),在設(shè)計(jì)過(guò)載保護(hù)時(shí),一般采用凸臺(tái)等方法實(shí)現(xiàn),形成方法有背部刻蝕技術(shù)、硅直接鍵合技術(shù)、玻璃刻蝕技術(shù)等。然而這些結(jié)構(gòu)一般都有一個(gè)很大的局限性就是腔體尺寸較大,進(jìn)一步提高靈敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工藝的復(fù)雜度,提高了生產(chǎn)成本。
2.小量程、高靈敏壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器,這主要是因?yàn)闋奚鼘咏Y(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片很薄,厚度可做到2μm,甚至更薄。在這樣薄的結(jié)構(gòu)上,如果采用擴(kuò)散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應(yīng)變電阻,其厚度相對(duì)較大,對(duì)彈性膜片應(yīng)力分布影響很大,不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化,因此采用多晶硅納米薄膜制作應(yīng)變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)。
過(guò)載保護(hù)是每種傳感器都要考慮的,因?yàn)樵谑褂眠^(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)測(cè)量值大于量程的情況,只有設(shè)計(jì)了過(guò)載保護(hù)的傳感器才能好的使用,也才能使用得更久。具體每種傳感器的過(guò)載保護(hù)是如何設(shè)計(jì)的,過(guò)載范圍是多少都是不同的,所以不管是買(mǎi)哪種傳感器需要了解它的過(guò)載保護(hù)是多少,這樣才能好的方便使用,在未來(lái)使用過(guò)程中也不會(huì)出現(xiàn)由于過(guò)載燒壞電路的情況。
過(guò)載就是負(fù)荷過(guò)大,超過(guò)了設(shè)備本身的額定負(fù)載,產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過(guò)大,用電設(shè)備發(fā)熱,線(xiàn)路長(zhǎng)期過(guò)載會(huì)降低線(xiàn)路絕緣水平,甚至燒毀傳感器設(shè)備或線(xiàn)路;過(guò)載保護(hù)就是即使負(fù)荷超過(guò)了額定負(fù)載也不會(huì)出現(xiàn)燒壞線(xiàn)路的情況,但是也有一個(gè)度,一般是150%的范圍內(nèi),而且不能持續(xù)過(guò)載工作。
Copyright ? 南京凱基特電氣有限公司 版權(quán)所有 蘇ICP備12080292號(hào)-5
全國(guó)服務(wù)電話(huà):025-85941802 傳真:025-87168200
公司地址:江蘇省南京市江寧區(qū)科寧路777號(hào)申智滙谷9棟101