壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
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壓力傳感器在汽車上使用很廣泛
時間: 2022-07-07 15:08:19 瀏覽次數(shù):
壓力傳感器在汽車上的應(yīng)用
壓力傳感器的工作原理是片面的
壓力傳感器可大致分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
接下來,本文將首先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理,然后介紹基于MEMS技術(shù)應(yīng)用于汽車的智能硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是一種基于壓阻效應(yīng)工作的壓阻元件。所謂壓阻元件,實際上是指集成電路工藝在半導(dǎo)體材料襯底上形成的分散電阻。當(dāng)它受到外力作用時,其電阻值會隨著電阻率的變化而變化。分散電阻在正常工作時需要附著在彈性元件上,常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用外圍固定的硅杯布局,封裝在殼體內(nèi)。在圓形單晶硅膜片上,插入四個分布式電阻,兩個在壓應(yīng)力區(qū),另兩個在拉應(yīng)力區(qū)。它們組成了一個全橋測量電路。硅膜片固定有圓形硅杯,兩側(cè)有兩個壓力腔,一個是與被測壓力連續(xù)的高壓腔,另一個是低壓腔,與參考壓力相連,參考壓力通常與壓力大氣相同。當(dāng)有壓差時,膜片變形,使兩對電阻的電阻值發(fā)生變化,電橋不能平均。它的輸出電壓反映了隔膜兩側(cè)所承受的壓力差。
目前,壓力傳感器是一種典型的汽車傳感器,在汽車上得到了廣泛的應(yīng)用。隨后被廣泛應(yīng)用于高壓場所,如懸浮壓力檢測、空調(diào)制冷壓力檢測等?,F(xiàn)在,壓力傳感器進一步擴展到高壓場所,如汽油焚燒輻射和柴油共軌焚燒輻射系統(tǒng)??梢姡瑝毫鞲衅髟谄囶I(lǐng)域有著廣闊的發(fā)展前景。
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