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壓力傳感器的過(guò)載保護措施
時(shí)間: 2020-05-23 10:07:35 瀏覽次數：
壓力傳感器有許多參數，其中一個(gè)是過(guò)載保護。過(guò)載是指負荷過(guò)大，超過(guò)設備本身的額定負荷?，F象是電流太大，電氣設備發(fā)熱。過(guò)載保護是指即使負荷超過(guò)額定負荷也不會(huì )出現線(xiàn)路燒毀的情況，但有某一程度，一般在150%的范圍內，且不能繼續過(guò)載工作。
目前，小量程、高靈敏度壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在具有犧牲層結構的壓力傳感器上。這主要是因為具有犧牲層結構的壓力傳感器彈性膜片很薄，厚度可以達到2米，甚至更薄。在這種薄膜結構上，如果擴散硅壓力傳感器或多晶硅薄膜作為犧牲層結構的應變電阻，其厚度相對較大，對膜片的彈性應力分布有很大影響，不利于壓力傳感器犧牲層結構的性能優(yōu)化，因此多晶硅納米薄膜的制備應變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)勢。
目前，小量程、高靈敏度壓力傳感器的研究熱點(diǎn)集中在具有犧牲層結構的壓力傳感器上。這主要是因為具有犧牲層結構的壓力傳感器彈性膜片很薄，厚度可以達到2米，甚至更薄。在這種薄膜結構上，如果擴散硅壓力傳感器或多晶硅薄膜作為犧牲層結構的應變電阻，其厚度相對較大，對膜片的彈性應力分布有很大影響，不利于壓力傳感器犧牲層結構的性能優(yōu)化，因此多晶硅納米薄膜的制備應變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)勢。
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